Эффективность лазерного управл. термораскалывания при резке приборных пластин на кристаллы

Эффективность метода лазерного управляемого термораскалывания при резке приборных пластин на кристаллы Доклад Владимира Кондратенко д.т.н., профессора кафедры наноэлектроники «Инновационные технологии в приборостроении, микро- и оптоэлектронике», академика РАЕН, советника ректората РТУ МИРЭА